유비쿼터스와 RF-ID
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작성일 23-09-09 00:43
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MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)는 초소형 시스템이나 초소형 정밀기계를 말하며 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등으로도 부르고 있다아 MEMS 장치는 크기가 작기 때문에 아주 좁은 공간에서도 사용할 수 있어 기계장치 또는 사람의 신체 내부에 들어가 여러 가지 활동을 할 수 있다아 MEMS는 전자 및 기계 부품들로 구성되어 있고 초기에는 반도체공법과 소재를 이용하여 만들었다. 정보기기 관련 시스템의 센서나 프린터 헤드와 같은 중요한 부분에 이용되고 있으며 생명Engineering, 미세 유체 및 화학분석, 운송 및 航空, 광학, 그리고 로봇 등과 같은 산업 분야에서 구조, 부품 및 시스템 제조를 위한 核心 기술로 활용되고 있다아
유비쿼터스와 RF-ID
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